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激光檢測原子力顯微鏡(激光型)

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產品型號:WinSPM L? 傳統的原子力顯微鏡? 采用激光檢測型探針? 多功能模式、研究級? 經典傳承、品質

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產品簡介:

采用傳統激光檢測探針的原子力顯微鏡(AFM),經典傳承、品質。集成了多模式和多功能的、國際和研究級的掃描探針顯微鏡產品。



儀器特點

  • 采用激光探測探針,支持接觸模式和輕敲模式的形貌成像。

  • 具備力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等測量分析功能。

  • 采用高精度嵌入式測控系統,主機隔音抗震設計,抗干擾能力強。

  • 可擴展納米加工、掃描隧道顯微鏡、靜電力顯微鏡等掃描探針顯微鏡功能。

  • 可選配不同掃描范圍的管型掃描器,或平面閉環型掃描器。

  • 可通過選配模塊和擴展接口增強系統功能。

激光檢測示意圖



主要技術參數

  • 一鍵式快速自動進樣,行程23mm,最小步距50nm。

  • 手動調節樣品檢測位置,調節范圍±10.0mm。

  • 樣品尺寸的直徑20mm,厚度20mm。

  • 標配管型掃描器,掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

  • 樣品逐行掃描成像,掃描成像速率0.1-30行/秒。

  • 一次掃描多幅圖像,圖像分辨高達1024×1024物理象素。

  • 內置數模混合結構的鎖相放大器,數字化PID反饋控制的響應時間為10μs。

  • 嵌入式測控系統采用主頻為450MHz的雙核處理器(ARM + DSP),與上位機連接采用以太網TCP/IP通訊協議。



標準配置:

  • 主控制器

  • 主機底座及隔音罩

  • 主機探頭及探針架(L型)

  • 手動樣品調節臺(調節范圍±10.0mm)

  • 管型掃描器(掃描范圍20μm)

  • 計算機及專用測控軟件

  • 儀器附件

L型探針架(上:正面;下:背面)


選配模塊:

  • 納米加工模塊,包括:圖形化納米加工、機械刻蝕、矢量掃描等功能

  • 掃描隧道顯微鏡(STM)模塊,包括:掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架(WinSPM T-Probe)  

  • 輔助觀察光學顯微鏡系統:物鏡倍數:0.7X~4.5X;總放大倍數:42-266X連續可調(14”有效顯示面積);工作距離:115mm 

  • 管型掃描器模塊:掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規格

  • 平面閉環掃描器:掃描范圍為30μm×30μm×9μm,閉環分辨率約1.5nm,垂直方向的諧振頻率約為40kHz

  • 導電原子力顯微鏡(C-AFM)

  • 靜電力顯微鏡(EFM)

  • 磁力顯微鏡(MFM)



應用領域及實驗

  • 實驗一:原子力顯微鏡的基本原理與應用,典型的應用領域為納米研究、教學教育。

  • 實驗二:原子力顯微鏡形貌成像及分析,典型實驗內容包括:軟磁盤或光盤等常規樣品形貌成像及分析、光柵樣品的形貌成像及關鍵尺寸測量、納米臺階的測量分析。

  • 實驗三:譜曲線測量與納米力學實驗,典型實驗內容包括:力-距離曲線的測量分析、液體膜厚度的測量與分析。

  • 實驗四:掃描隧道顯微鏡(STM),包括形貌成像和隧道譜。(需增配STM模塊)

  • 實驗五:納米加工實驗,如圖形化納米刻蝕實驗。(需增配納米加工模塊) 

  • 實驗六:其它基于特殊針尖或實驗方法的原子力顯微鏡的應用領域,包括:導電原子力顯微鏡(C-AFM)、靜電力顯微鏡(EFM)、磁力顯微鏡(MFM)等。(需增配或定制相應的功能模塊)。

儀器整體照片

磁盤形貌圖(3×3μm)




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