Parylene涂層設備P6 產品說明: 聚對二甲苯是聚對二甲苯聚合物基團的簡稱。聚合物由被不同物質取代的對二甲苯組成。涂層的基礎是二聚體。這是由兩個相同的亞基,即所謂的單體組成的分子復合物。具有疏水性: 6.3L的Parylene涂層系統P6適用于研發型應用或微小樣品的小批量量產。 在線咨詢
主要技術參數 | 1. 全自動控制 2. 涂層材料:聚對二甲苯,聚一氯對二甲苯和聚二氯對二甲苯 3. 涂層厚度:0.05~20μm 4. 熱解:5KW , 高溫度達 700℃ 5. 進氣含均勻分散系統 6. 冷卻:液氮可達﹣100℃ 7. 極限壓力:1×10-3mbar ,配有兩個皮拉尼傳感器 8. 涂層腔體尺寸,Ø200 mm*L200mm,容積約6.28L 9. 旋轉架尺寸:Ø170mm*L170mm 10. 真空泵系統:雙級螺旋泵 16 m3/h 萊寶 D16B 11. 連接件:25mm真空管,泵與主機連接件,6 bars 干燥無油的空氣 12. 外尺寸:W700*D500*H700mm 13. 電源電壓:400V/16A/50-60Hz |
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