RTS-1389型全自動四探針測試系統

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公司名稱 廣州四探針科技有限公司
品牌
型號
所在地 廣州市
廠商性質其他
更新時間 2024/12/30 14:10:22
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

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RTS-1389型全自動四探針測試系統可對樣品進行49點、81點、中心1點、中心10點、中心半徑5點、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點、直徑掃描等測試

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RTS-1389型全自動四探針測試系統


	可對樣品進行49點、81點、中心1點、中心10點、中心半徑5點、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點、直徑掃描等測試；統計分析測試數據生成2D和3D的map圖；
	屏蔽測試，消除光對樣品測試的影響，保證測量的準確性；
	真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對測試的影響；
	一體化嵌入式設計，觸控電腦屏幕操作，手指點點就可以完成操作；

RTS-1389型全自動四探針測試系統是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該設備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設備。通過全自動測試系統，對晶圓片進行電阻率和方塊電阻分布的測量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。

RTS-1389型全自動四探針測試系統通過采用四探針雙位組合測量技術，將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進行兩次電測量，其最后計算結果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素所引起的，對測量結果的不利影響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態地對以上不利因素的自動修正，顯著降低了其對測試結果的影響，從而提高了測量結果的準確度。

RTS-1389型全自動四探針軟件測試系統擁有友好操作測試界面，通過此測試程序輔助用戶簡便地進行各項測試操作，把采集到的測試數據進行數學分析，然后把測試數據以Excel表格，2D、3D等數值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數據進行各種數據分析，用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，

技　術　指　標 ：

測量范圍	電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm；方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□；
可測晶片尺寸	2英寸～12英寸；（太陽能電池片≤210mm*210mm）
恒流源	電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔
采樣電壓范圍	量程:000.00～199.99mV；(低阻擴展時,量程：00.000～19.999mV)　　　　分辨力：10μV；（低阻擴展時，分辨力：1μV）輸入阻抗：＞1000MΩ；精度：±0.1%；
四探針探頭基本指標	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
模擬電阻測量相對誤差	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.2%
整機測量相對誤差	（用硅標樣片:0.003-500Ω.cm 測試）≤±3% (23℃)
重復性	≤±0.5%
最小去邊距離	3mm
自動測試選點方式	49點、81點、中心1點、中心10點、中心半徑5點、中心邊緣5點、中心半徑邊緣9點、直徑掃描。
測試數據處理	以Excel格式文件表格記錄測試數據，并生成2D、3D的 map圖。用戶可對采集的數據在Excel中進行進一步的各種數據統計分析。
屏蔽和吸附測試	對樣品進行屏蔽和真空吸附測試，消除光和全自動測試過程中樣品移動對樣品測試的影響，保證測量的準確性。
外形尺寸	580mm×475mm×450mm（深×寬×高）
標準使用環境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻干擾；