SMP01型傳感器微加工平臺SMP01型傳感器微加工平臺是自主研發的傳感器微加工集成平臺，包括激光刻蝕、激光劃片、紫外光刻/激光直寫、多路微噴成膜、等離子微區沉積、輔助封裝等功能，可低成本的實現氣體傳感器微制造與小批量生產
SMP01型傳感器微加工平臺是自主研發的傳感器微加工集成平臺，包括激光刻蝕、激光劃片、紫外光刻/激光直寫、多路微噴成膜、等離子微區沉積、輔助封裝等功能，可低成本的實現氣體傳感器微制造與小批量生產。基于該平臺，可研發多種類微型傳感器，包括溫濕度傳感器，催化燃燒型、固體電解質型、阻抗型、光學型等類型氣體傳感器及其混合陣列，也可以基于多路微噴、等離子微區沉積等技術實現器件上原位的材料微納結構可控成型。
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結構設計原理圖 掩膜版曝光圖
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平臺實物圖 多路微噴機構
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