P01型桌面式氣敏膜微噴儀P01型桌面式氣敏膜微噴儀，采用靜電微噴原理，可將分散均勻的漿料或者溶液，按設定圖形或位置微噴成膜，并可保持納米顆粒的形態，是MEMS氣體傳感器成膜的
P01型桌面式氣敏膜微噴儀
P01型桌面式氣敏膜微噴儀，采用靜電微噴原理，可將分散均勻的漿料或者溶液，按設定圖形或位置微噴成膜，并可保持納米顆粒的形態，是MEMS氣體傳感器成膜的。P01型桌面式氣敏膜微噴儀，配備了高速視覺系統、高精度多自由度運動平臺、高精度位移和高度傳感器，適用于1-10000cPs粘度的有機/無機漿料微噴，支持CAD圖形格式輸入，高精度制備復雜微納成膜圖案。在保證性能的提前下，充分簡化結構，縮減成本，提高性價比，是當前市場上低、的微噴儀之一。該設備不僅可用于氣敏膜的高一致成膜，還可用于光電、能源、傳感、生物等領域。
P01型桌面式氣敏膜微噴儀
可控噴嘴直徑的微噴頭
150 um直徑微噴陣列效果
性能參數
設備尺寸 | 約650 mm×620 mm×750 mm |
試樣臺面尺寸 | 150 mm×150 mm |
供墨系統 | -100-100 kPa可控氣源 |
高壓電源 | 2000 kV可調 |
打印速度 | 100 mm/s |
定位精度 | ±10um |
試驗臺水平度 | 10um（帶水平度調節） |
傳感器 | XY位移傳感器+ Z高度傳感器 |
視覺系統 | 觀測CCD +定位CCD |
可選配 | 內置環境溫濕度傳感器或者LED光激發 |
圖形格式 | CAD |
噴嘴直徑 | 2-100um可選 |
工藝指標 | 最小直徑<1um |
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