AXSYS AL120-WM 

 

4’’/6’’/8’’晶圓搬送機及Wafer Mapping

 

應用特點：

針對4’’/6’’/8’’晶圓搬送及檢查，整合電動臺，自動OCR，Wafer Alignment，配合wafer mapping系統(tǒng)。可以讀取上一站的wafer mapping，實現review，bincode編輯等，并可以繼續(xù)上載mapping，供下一站適用。可編程自動跑位、拍照，減輕人工負荷。

設備優(yōu)勢：
·奧林巴斯AL-120晶圓搬送機平臺
·奧林巴斯MX63顯微鏡
·200mm X 200mm 電動平臺
·Z自動聚焦
·自動wafer Alignment
·OCR Wafer ID 讀取
·可編輯的wafer map，適用多種SEMI標準格式
·Bincode的生成和配置
·SECS/GEM 連線