非接觸式膜厚測量儀EA-160產品描述:◆高速度、高精度測量系統◆160mm×160mm范圍測量◆透明材質穿透測量◆測量膜厚、線寬、平面度等◆多程序自由切換

非接觸式膜厚測量儀 EA-160 

產品描述:

◆高速度、高精度測量系統

◆160mm×160mm范圍測量  

◆透明材質穿透測量  

◆測量膜厚、線寬、平面度等 

 

◆多程序自由切換，方便靈活

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技術： 

◆采用白光共焦技術，分辨率達到5nm，量程13mm 

◆0-160mm運動精度達到微米級，X、Y方向無機械接觸，采用全閉環反饋系統，實現高精度測量 

◆高精度、高分辨率CCD系統，結合effecttek軟體算法，支持影像定位輔助系統 

應用： 

◆厚膜電路測量

◆晶圓涂膠測量 

◆LTCC膜厚、線寬測量 

◆MEMS測量 

◆透明材質測量 

◆太陽能面板測量 

設備技術參數: