原子力顯微鏡 XE-100可以實現精確的納米計量和無損檢測。新增的多區域自動掃描功能，更是*的提高了檢測效率。該系統可廣泛的應用于材料科學、聚合物、電化學等諸多領域。

原子力顯微鏡 XE-100技術參數（機械部分）：
1. XY掃描器：50µm×50µm（閉環），可選配100µm×100 µm（閉環）
2. Z掃描器：12µm （可選配25µm）
3. 水平度：50µm線掃描垂直偏差不超過±1nm
4. XY和Z掃描器的正交性：1.0°
5. 樣品臺移動范圍：25mm×25mm（X/Y），27.5mm （Z）
6. 樣品尺寸：100mm×100mm
7. 光學觀察：垂直光路設計，可直接觀察微懸臂和樣品

原子力顯微鏡 XE-100技術參數（電子部分）
1. 微處理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模數/數模：16位，500kHz采樣頻率
3. 圖像采集：同步自動采集16幅圖像，分辨率高達4096×4096像素
4. 通訊方式：采用基于TCP/IP協議的通訊方式與計算機聯接
5. 符合CE認證標準