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簡介原硅片PL檢測模組可將原硅片中肉眼不可以見的缺陷檢測出，同時兼容多晶、單晶、類單晶硅片
簡介
原硅片PL檢測模組可將原硅片中肉眼不可以見的缺陷檢測出，同時兼容多晶、單晶、類單晶硅片。
可針對于單晶、多晶、類單晶硅片的位錯、絨絲、晶界等缺陷檢出。
此模組為標準模組，可集成于硅片分選機、制絨上料機，達到控制產品質量、節約制造成本的目的。
硅片及對應PL圖像
產品特性
檢測出硅片中各種肉眼不可見缺陷
自動預測硅片的效率參考值
自動統計各缺陷與良品數量及比例，
產能大于6000片/小時
無接觸式檢測，不對硅片二次損傷
提前篩選出問題片，節約制造成本
技術指標
可檢測缺陷： 絨絲、晶界、黑斑、污染、雜質、隱裂等 模塊產能: >6000P/H 相機類型： 高清紅外線掃工業相機 適用電池片規格： 156至210mm(±0.5mm) ， 160~200μm
缺陷圖像
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