· 直線電機高精度龍門運動機構

· 兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量。

· 共面氣浮移動軸承確保樣品的移動獲得的平面度及平順性

· 兼容1-8英寸規格晶圓樣品（可擴展至300mm 12英寸產品）

· 晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm

· 抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機架

· 掃描速度1m/s

· 可自定義生成快速便捷的自動化測量模式

· 直觀簡單的2D或3D數據呈現方式

· 適用于厚度，TTV，LTV，TIR，Sori，Taper，Bow和Warp 測量參數及標準

激光測量技術

選型要求