JX系列大工作平臺半導體檢查顯微鏡，采用研究級顯微鏡R照明系統和光學系統，人機工程學設計全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗
JX系列大工作平臺半導體檢查顯微鏡，采用研究級顯微鏡R照明系統和光學系統，人機工程學設計全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。突破性的大金相機架設計，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 | |
觀察方式 | 明場 | |
觀察筒 | 30°傾斜 | |
正像，無限遠鉸鏈式三通觀察筒，瞳距調節：50-76mm， | ||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調 | |
物鏡 | 無限遠平場物鏡 5X、10X、20X、50X、100X | |
轉換器 | 內傾五孔轉換器 | |
調焦機構 | 粗微動同軸調焦，行程 29mm 微動 0.002mm/ 格，0.2mm/ 圈； | |
載物臺 | 8英寸三層機械移動平臺: 移動范圍：200mm×200mm 帶離合手抦可實現快速移動 | 17×12英寸機械移動平臺: 移動范圍：430mm×305mm； 帶離合手抦可實現快速移動 |
低手位X、Y方向同軸調節；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動；玻璃載物臺板，（反射用） | ||
晶圓輔助臺 | 選配 | |
反射照明系統 | 明場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調；檢偏和起偏裝置 | |
攝影攝像 | 1X攝像接筒，C型接口 | |
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