無論樣品大小、簡單還是復雜,或執行測量的人員經驗如何,奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。
可按照個人需求進行測量的顯微鏡
無論樣品大小、簡單還是復雜,或執行測量的人員經驗如何,奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。
優異的光學性能
STM7系列采用了當前光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學系統。
因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,像差也被消除,以確保實現對微小細節的高精度測量。
花崗巖精制而成的載物臺基座增強了測量的可靠性
為了進一步保證測量精度,STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩定性,使測量可到達亞微米水平,并大大降低誤差。
STM7-LF FEM分析
簡單易用的高精度3軸測量
隨著現代制造技術日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測量,Z軸方向的高精度測量也成為必須。為此,奧林巴斯開發了采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統。
嚴格的可追溯系統確保品質可靠
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的精度,此外,在安裝系統時,奧林巴斯還提供可追溯的校準服務。
可靠的模塊化系統
五種配置讓您可以靈活選擇所需功能。
適合您的樣品的載物臺
· 常見問題
1、短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求{? 由于X軸測量區域短于Y軸測量區域,因此必須旋轉樣品
2、由于可測量的范圍窄,無法將數量較多的樣品排列在載物臺上,以實現一次性同時測量
· STM7解決方案
1、STM7提供300 mm x 300 mm載物臺,能夠測量較大的樣品,包括300 mm晶圓和印刷電路板。
2、X軸和Y軸測量區域長度相等,因此無需旋轉樣品
3、較長的X軸和Y軸測量區域允許在載物臺上排列多個樣品,實現更高效的測量
測量行程300 mm x 300 mm
提供三款具有不同測量行程的載物臺供選擇:100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺適合您的應用。
實現更快、更簡單、更精確的高度測量
· 常見問題
進行目視測量時,不同操作員會測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法非常耗時,效率低下。
· STM7解決方案
STM7聚焦導航系統減少了操作員的主觀性對高度測量的影響。它還可以縮短執行高度測量所需的時間,以實現更高的效率
技術規格
STM7規格(手動型號)
手動型號 | |||||
小型載物臺 | 中型載物臺 | 大型載物臺 | |||
顯微鏡主體 | STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF | ||
聚焦 | 垂直移動范圍 | 175 mm | 145 mm | ||
測量高度 | 120 mm(使用測量物鏡) 175 mm(使用金相物鏡) | 90 mm(使用測量物鏡) 145 mm(使用金相物鏡)*1 | |||
Z軸測量分辨率 | 0.1 um | ||||
Z軸驅動方法 | 手動同軸微調焦/粗調焦旋鈕 | ||||
照明 | LED 照明 | 白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明 | |||
觀察鏡筒 | MM6-ETR正像三目鏡筒(100:0/0:100) | ||||
目鏡(F.N.22) | MM6-OCC10X(帶十字線)、MM6-OC10X | ||||
物鏡 | BF(明場) | MM6C-KMAS 照明 | |||
U-5RES-ESD 物鏡轉換器 | |||||
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物鏡 | |||||
BF(明場)/DF(暗場) | MM6C-RLAS 照明 | ||||
U-D5BDRES-ESD 物鏡轉換器 | |||||
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物鏡 | |||||
LED 裝置 | 白色(反射) | MM6-ILW | |||
綠色(透射) | MM6-ILG | ||||
載物臺 | STM7-CS100 | STM7-CS200 | STM7-CS300 | ||
測量范圍 | X軸100 mm,Y軸100 mm | X軸200 mm,Y軸200 mm | X軸300 mm,Y軸300 mm | ||
測量精度 (L:測量長度) | (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm | ||
精度保證重量 | 6 kg | 10 kg | 15 kg | ||
計數器 | STM7-DI | ||||
軸數 | 三軸 | ||||
單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | ||||
分辨率 | 0.1 um | ||||
控制箱 | STM7-CB | ||||
手控開關 | STM7-HS | ||||
聚焦控制器 | - | ||||
接口線纜 | - | ||||
防振基座 | - | STM7-VI | |||
電源線纜 | UYCP | ||||
尺寸(寬x深x高)mm | 466 x 583 x 651 | 606 x 762 x 651 | 804 x 1024 x 686 | ||
重量(kg) | 84 kg | 152 kg | 277 kg | ||
功耗 | 100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A | 100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡 | 1X | 3X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | ||
測量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - | |
金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場 | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
LMPLFLN系列 | 長工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
MPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
LMPLFLN-BD系列 | 明場/暗場,長工作距離 | - | - | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 |
項目 | |
CPU | 對于STM7-CU相機,需要Intel Core i3處理器3 GHz或更高;對于DP23/DP28相機,需要Intel Core i5或同等或更高級別處理器 |
內存 | 對于STM7-CU相機,為4 GB或更高;對于DP23/DP28相機,至少需要8 GB,建議16 GB |
硬盤可用空間 | 安裝需要100 GB或更大硬盤空間,建議使用SSD硬盤以實現高速圖像采集 |
顯卡 | 支持分辨率1980 x 1080和32位色的顯卡 |
驅動器 | DVD驅動器 |
PC輸入設備 | 2鍵鼠標(建議使用帶滾輪的3鍵鼠標)、鍵盤 |
操作系統 | Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations(64位) |
網絡瀏覽器 | Internet Explorer 11 |
* 還支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。
電動型號 | ||||
中型載物臺 | 大型載物臺 | |||
顯微鏡主體 | STM7-MFA | STM7-LFA | ||
聚焦 | 垂直移動范圍 | 175 mm | 145 mm | |
測量高度 | 120 mm(使用測量物鏡) 175 mm(使用金相物鏡) | 90 mm(使用測量物鏡) 145 mm(使用金相物鏡)*1 | ||
Z軸測量分辨率 | 0.1 um | |||
Z軸驅動方法 | 電動
| |||
照明 | LED 照明 | 白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明 | ||
觀察鏡筒 | MM6-ETR正像三目鏡筒(100:0/0:100) | |||
目鏡(F.N.22) | MM6-OCC10X(帶十字線)、MM6-OC10X | |||
物鏡 | BF(明場) | MM6C-KMAS 照明 | ||
U-5RES-ESD 物鏡轉換器 | ||||
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物鏡 | ||||
BF(明場)/DF(暗場) | MM6C-RLAS 照明 | |||
U-D5BDRES-ESD 物鏡轉換器 | ||||
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物鏡 | ||||
LED 裝置 | 白色(反射) | MM6-ILW | ||
綠色(透射) | MM6-ILG | |||
載物臺 | STM7-CS200 | STM7-CS300 | ||
測量范圍 | X軸200 mm,Y軸200 mm | X軸300 mm,Y軸300 mm | ||
測量精度 (L:測量長度) | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm | ||
精度保證重量 | 10 kg | 15 kg | ||
計數器 | STM7-DI | |||
軸數 | 三軸 | |||
單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | |||
分辨率 | 0.1 um | |||
控制箱 | STM7-CBA | |||
手控開關 | - | |||
聚焦控制器 | STM7-MCZ | |||
接口線纜 | U-IFCBL200 | U-IFCBL200 | ||
防振基座 | STM7-VI | |||
電源線纜 | UYCP | |||
尺寸(寬x深x高)mm | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 844 | ||
重量(kg) | 159 kg | 284 kg | ||
功耗 | 00-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡 | 測量物鏡 | MM6-OB系列 (1X /3X /5X /10X) |
聚焦導航器 | 聚焦導航器裝置 | STM7-FN |
綠光LED裝置 | MM6-ILG | |
自動聚焦 | 自動對焦單元 | STM7-AF |
微分干涉對比度 | 用于反射光的U-DICR DIC插槽 | U-DICR |
軟件/相機*1 | 測量支持軟件 | STM7-BSW |
相機 | 低端數碼相機 | STM7-CU |
中端數碼相機 | DP23-CU | |
數碼相機 | DP28-CU | |
TV適配器 | 帶0.5倍鏡頭的C型相機接口觀察筒 | U-TV0.5XC-3 |
帶0.35倍鏡頭的C型相機接口觀察筒 | U-TV0/35XC-2 | |
可旋轉載物臺 | 行程100 x 100 mm | STM7-RS100 |
行程200 x 200 mm | STM7-RS200 | |
行程300 x 300 mm | STM7-RS300 | |
ND濾鏡 | ND濾鏡(透射率6%) | U-25ND6 |
ND濾鏡(透射率25%) | U-25ND25 | |
微分干涉對比度 | 微分干涉對比度/偏振鏡 | U-PO3 |
微分干涉對比度/檢偏鏡 | U-AN360-3 | |
軟件 | MIA、EFI(可選軟件) | STM7-ASW-ME |
腳踏開關 | STM7-FS | |
電源裝置 | MM6-ILPS-2 | |
載物臺測微計 | OB-M/OB-MM |
*1 支持的相機因STM7-BSW版本而異。
1.3.3版或更早版本:STM7-CU
1.4.1版或更新版本:DP23/DP28
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