MX63和MX63L顯微鏡系統經過優化，適用于尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質量檢測。其采用的模塊化設計使您能夠選擇需要的組件，獲得根據應用定制的系統。
讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統經過優化，適用于尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質量檢測。其采用的模塊化設計使您能夠選擇需要的組件，獲得根據應用定制的系統。
這兩款符合人體工學設計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時，保持檢測員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結合使用時，可以簡化從觀察到報告創建的整個工作流程。
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新照明技術和PRECiV圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和記錄結果提供了更多選擇。
從不可見到可見：MIX觀察和圖像采集
MIX觀察技術通過將暗場與明場、熒光或偏振光等其他觀察方法相結合，生成的觀察圖像。MIX觀察技術使用戶能夠查看使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環形LED照明器具有在時間僅使用一個象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。
輕松生成全景圖像：即時MIA
使用多圖像拼接（MIA）功能時，用戶只需轉動手動載物臺上的KY旋鈕，即可快速輕松完成圖像拼接 — 電動載物臺無需進行該操作。PRECiV軟件采用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。
利用HDR同時采集明亮區域和暗光區域
采用圖像處理技術的高動態范圍（HDR）可調整圖像內的亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺品質，有助于生成具有專業級外觀的報告。
從基本測量到高級分析
測量對于質量、工藝控制和檢測至關重要。鑒于這一點，即便是入門級PRECiV軟件包也融入了交互式測量功能的全部菜單，并且所有測量結果都與圖像文件一起保存以便存檔。此外，PRECiV材料解決方案還為復雜圖像分析提供面向工作流程的直觀界面。只需單擊一下按鈕，即可快速精準執行圖像分析任務。由于大幅縮減了重復任務的處理時間，操作員可以專注于手頭的檢測工作。
高效的報告創建
與圖像采集和測量相比，創建報告通常需要花費更長的時間。PRECiV軟件提供了直觀的報告創建功能，可以根據預定義的模板多次生成智能、復雜的報告。編輯操作非常簡單，報告可導出為Microsoft Word或PowerPoint文件。此外，PRECiV軟件的報告功能可對采集的圖像進行數字變焦和倍率放大。報告文件大小適中，更便于通過電子郵件進行數據交換。
| MX63 | MX63L | ||
| 光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正系統） | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED（帶光強度管理器）12 V 100 W鹵素燈，100W汞燈，光導 明場/暗場/反射鏡分光鏡組件手動切換。（反射鏡分光鏡組件為選配件。） 通過手動操作調整3位編碼分光鏡組件 內置電動孔徑光闌（針對所有物鏡預設，暗場自動打開） 觀察模式：明場、暗場、微分干涉對比度（DIC）*1、簡易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察（4個定向暗場）*2 *1 選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置 | |
| 透射光照明 | 透射光照明裝置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光鏡（數值孔徑 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（數值孔徑 0.6）、孔徑光闌和視場光闌 光源：LG-LSLED（LED光源）光導：LG-SF 觀察模式：明場、簡易偏振光 | ||
| 對焦 | 行程：32 mm 每轉行程微調：100 μm 最小分度：1 μm 配上限限位器和粗調手柄扭矩調節 | ||
| 載荷重量（包括載物臺和支架） | 8 kg | 15 kg | |
| 觀察筒 | 寬視場（FN 22 mm） | 正像三目鏡筒：U-ETR4 正像可調傾角三目鏡筒：U-TTR-2 倒像三目鏡筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于紅外觀察） 倒置雙目鏡筒：U-BI30-2 倒像可調傾角雙目鏡筒：U-TBI30 | |
| 超寬視場（FN 26.5 mm） | 正像可調傾角三目鏡筒：MX-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機] 或0：99%） 正像可調傾角三目鏡筒：U-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機] 或20%：80%） 倒像三目鏡筒：U-SWTR-3 | ||
| 電動物鏡轉換器 | 明場 明場和暗場 | ||
| 載物臺（X x Y） | 帶內置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC8R 帶內置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC6R2 | 帶內置離合驅動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305 mm 透射光照明區域：356 x 284 mm | |
| 重量 | 約35.6kg（顯微鏡鏡架26kg） | 約44kg（顯微鏡鏡架28.5kg） | |
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