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高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800(CD-SEM)

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  • 公司名稱 日立集團(tuán)
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2023/2/16 8:07:01
  • 訪問(wèn)次數(shù) 123

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適用于對(duì)應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測(cè)量SEM搭載日立技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測(cè)量,提供高解析度的SEM成像,更高的測(cè)量精度和快速自動(dòng)化操作,將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作處理自動(dòng)搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計(jì)劃支持對(duì)應(yīng)碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等各種材料的晶圓,以滿足客戶對(duì)半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。

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高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800(CD-SEM)

適用于對(duì)應(yīng)4、6、8英寸晶圓的測(cè)量SEM

搭載日立技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測(cè)量,提供高解析度的SEM成像,更高的測(cè)量精度和快速自動(dòng)化操作,將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作處理自動(dòng)搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計(jì)劃支持對(duì)應(yīng)碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等各種材料的晶圓,以滿足客戶對(duì)半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。

  • 特長(zhǎng)

  • 規(guī)格

特長(zhǎng)

  • 考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
  • 通過(guò)設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗(yàn),搭載了高精度測(cè)量技術(shù)和的計(jì)量應(yīng)用。
  • 通過(guò)光學(xué)軸自動(dòng)化調(diào)整,減少了由于操作員熟練度而造成的測(cè)量偏差。
  • 更高的圖像處理技術(shù),實(shí)現(xiàn)Recipe自動(dòng)測(cè)量并提高產(chǎn)能。
  • 新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用計(jì)算機(jī)的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。

規(guī)格

規(guī)格
測(cè)量精度 1nm(3σ)(采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓)
晶圓尺寸 直徑 100mm, 150mm, 200mm
自動(dòng)裝片裝置 2個(gè)
設(shè)備尺寸(主體) 1180(寬)× 2500(長(zhǎng))× 1990(高)毫米


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