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R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC 方塊電阻測試儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號 R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50
  • 所在地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2023/2/14 11:55:33
  • 訪問次數 419

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詳細信息 在線詢價

Filmetrics的薄膜電阻測量設備開發源自于有著超過30年經驗的KLA的薄膜電阻計量技術,并由20臺式測量設備開發經驗的Filmetrics團隊完善了桌面式方塊電阻測量產品。KLA薄膜電阻測量技術包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜,跨越10個數量級范圍電阻率,包括:

半導體晶圓基板

玻璃基板

塑料(柔性)基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、主要功能

l 技術規格

Model

Description

R50-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-100mm*100mm

可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-200-4PP

四探針測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量

R50-200-EC

非接觸渦流測試

自動XY移動臺-200mm*200mm

可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量

三、應用

支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、多層膜



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