R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC 方塊電阻測試儀
參考價 | 面議 |
- 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
- 品牌
- 型號 R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50
- 所在地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2023/2/14 11:55:33
- 訪問次數 419
參考價 | 面議 |
Filmetrics的薄膜電阻測量設備開發源自于有著超過30年經驗的KLA的薄膜電阻計量技術,并由20年臺式測量設備開發經驗的Filmetrics團隊完善了桌面式方塊電阻測量產品。KLA薄膜電阻測量技術包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。
Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導電片和薄膜,跨越10個數量級范圍電阻率,包括:
半導體晶圓基板
玻璃基板
塑料(柔性)基材
PCB圖案特征
太陽能電池
平板顯示層和圖案化特征
金屬箔
二、主要功能
l 技術規格
Model | Description |
R50-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-100mm*100mm 可實現直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 可放置直徑200mm晶圓樣品 |
R50-200-4PP | 四探針測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping測量 |
R50-200-EC | 非接觸渦流測試 自動XY移動臺-200mm*200mm 可實現直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測量 |
三、應用
支持廣泛的測量,包括但不限于以下各項:
金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導率、多層膜
*您想獲取產品的資料:
個人信息: