AVI-600 WORKSTATION是一款緊湊型主動隔振系統，對升級和整合到現有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇。AVI-600 WORKSTATION這款設備允許在一定的大小范圍內增設額外的模塊以用于支持更大的儀器載重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作臺也是支持納米技術的解決方案。

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION 是一款緊湊型有源隔振臺，對升級和整合到現有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇。AVI-600 WORKSTATION隔振臺允許在一定的大小范圍內增設額外的模塊以用于支持更大的儀器載重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作臺也是支持納米技術的解決方案。

產品特點：

• 主動隔振頻率：1Hz – 200Hz
• 被動防振頻率>200Hz
• 5-20 毫秒的響應時間
• 安裝簡單，容易使用
• 能連續使用多年
• 緊湊、模塊化的多功能設計

產品應用：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• UHV-SPM
• 隧道顯微鏡
• 大型的對震動敏感的儀器

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION產品優勢：

• 系統主動檢測輸入震動并動態消除
• 六個角度自由隔振
• 內部反饋回路抑制所有機械共振
• 提供優秀的低頻段隔振能力
• 無低頻共振并沒有空氣要求

技術參數：

隔振范圍：主動:1-200Hz ; 被動: >200Hz

傳輸率：超過 10Hz 的傳輸< -35 dB

模塊尺寸：W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模塊重量： 60 KG / 132 Lbs

靜態柔度(每個模塊)

垂直方向：約 12 μm / N

水平方向：約 6 μm / N

系統噪聲：少于 50nG/√Hz

耗電量：27 W(典型配置)

輸入電壓：90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能監控：通過在示波器上顯示的一個復用信號來表示是否帶有隔振效果的震動等級

主動隔振臺-主動式隔振臺-AVI600WORKSTATION 可選型號：