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3D激光光刻機(jī) nSCULPTOR

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3D激光光刻機(jī) nSCULPTOR

nSCULPTOR是用于納米結(jié)構(gòu)加工的3D激光光刻系統(tǒng),基于多光子聚合(mPP)技術(shù),適用于市場(chǎng)上常見(jiàn)光阻材料。可以加工和生產(chǎn)納米精度和分辨率的三維結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)將整個(gè)加工過(guò)程整合到一起,包括3D模型的創(chuàng)建和制備,激光直寫(xiě),后期處理。

產(chǎn)品特點(diǎn):

· 一體化解決方案

· 100nm-10um分辨率

· 復(fù)雜3D物體

· 不同的聚合物

· 占地面積小

產(chǎn)品應(yīng)用:

· 納米光子器件(3D光子晶體)

· 微流控

· 微光學(xué)器件(透鏡,光纖結(jié)構(gòu))

· 微型機(jī)械

· 微型光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS

· 生物醫(yī)學(xué)


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