• 被清洗的表面除了光子，不與任何物體發(fā)生接觸，有機物經過紫外光照射發(fā)生光敏氧化反應后，生成可揮發(fā)性氣體（CO2、CO、H2O等）從表面消散，隨著排風系統(tǒng)抽走。
• 表面潔凈度高，且不會像溶液清洗時發(fā)生二次污染。
• 光清洗的表面不會受到損傷，由于光子的能量相對比氬等離子體濺射或惰性氣體離子轟擊的能量小，光清洗后的表面不會受到損傷或發(fā)生晶體缺陷的現(xiàn)象。
• 光清洗對物體表面微細部位（如孔穴、微細溝槽等）具有有效而*的清洗效果。由于紫外光是納米短波紫外線，能夠射入材料表面的極為 細微的部位，發(fā)生光敏氧化反應，充分表現(xiàn)出光清洗的*性。

• 在進行薄膜沉積之前*行基片清洗。清除浮渣和穩(wěn)定化處理光刻膠。超高真空度密封。

• 清洗硅芯片，透鏡，反光鏡，太陽能面板，冷軋鋼，慣性引導零件和 GaAs芯片

• 清潔焊劑，混合電路以及平板LCD顯示器

• 蝕刻特氟隆，氟橡膠以及其它有機材料

• 增強GaAs 和Si氧化物鈍化表面

• 增強玻璃的除氣作用

• 基片藍膜去除

• 增強塑料表面的鍍膜的粘附性

• 基片終測后墨跡清楚

• 去除光刻膠

• 平板顯示器/液晶顯示器

• 去除光刻機臺上的光刻膠殘留物

• 在電路板封裝和打片之前清洗

• 光纖

• 增強表面親水特性

• 為生物科學應用做清洗和消毒

• 光學透鏡

• 其它應用

■ 可產生臭氧濃度超過6000ppm.
■ 進出的埠為直徑6米。
■ 可調式流量計安裝于機臺的主面，流量定為5L/min。使用者可依照臭氧濃度的需求而調整此控制。
■ 機器內提供冷卻系統(tǒng)，增強紫外線燈的壽命。
■ 尺寸（長*寬*高）：42公分*25公分*16.5公分
■ 保用壽命：1年（燈管的壽命不包含在內）

■ 原為OEM產品，適合安裝在多種設備或一般封箱內。
■ 進出的埠為直徑6米。
■ 臭氧產生的濃度相同于型號：2000
■ 外殼以不銹鋼電鍍形成。
■ 需外加適當的冷卻系統(tǒng)，增強紫外燈的壽命。
■ 尺寸（長*寬）：30公分*5公分
■ 保用壽命：1年（燈管的壽命不包含在內）

■ 機型的尾端安裝1組石英材質燈套。
■ 使用者可因臭氧濃度的需求來調整燈套蓋過紫外線燈的長短。
■ 臭氧濃度調整：ppb~3100ppm。
■ 進出的埠為直徑6米。
■ 外殼以不銹鋼電鍍形成。
■ 尺寸（長*寬）：23公分*2.5公分。
■ 保用壽命：1年（燈管的壽命不包含在內）