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DSP Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺

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雙面探針系統基于SemiProbe的探針系統(PS4L)自適應結構設計制造,提供了*的靈活性和強大功能。DSP解決方案可滿足探針從兩側;探針從頂部,檢測輸出從底部;探針從底部,檢測輸出從頂部的雙側測試需求。與傳統的探針系統不同,該系統所有的基礎模塊——基座、卡盤支架、卡盤、顯微鏡支架、顯微鏡移動、光學元件、操縱器等都是可更換升級的。這使得DSP能為許多不同應用提供完美的解決方案。*的模塊化設計使客戶能夠獲得精確滿足其要求的定制系統。更重要的是,隨著環境或測試條件的變化,PS4L可以很容易地進行現場升級,以滿足新的需求。

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Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺產品描述:

Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺 基于SemiProbe的探針系統(PS4L)自適應結構設計制造,提供了*的靈活性和強大功能。目前,越來越多的應用要求能夠從模具或晶片的兩面進行探測。SemiProbe的DSP解決方案可滿足以下需求:

  • 探針從兩側
  • 探針從頂部,檢測輸出從底部
  • 探針從底部,檢測輸出從頂部的雙側測試需求。

Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺 與傳統的探針系統不同,該系統所有的基礎模塊——基座、卡盤支架、卡盤、顯微鏡支架、顯微鏡移動、光學元件、操縱器等都是可更換升級的。這使得DSP能為許多不同應用提供完美的解決方案。*的模塊化設計使客戶能夠獲得精確滿足其要求的定制系統。更重要的是,隨著環境或測試條件的變化,PS4L探針系統可以很容易地進行現場升級,以滿足新的需求。與傳統檢測設備相比,能夠讓客戶節約更多時間,更多成本。

Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺

雙面探針系統(DSP)的發展:

雙面探針系統(DSP)初是用于兩個應用:失效分析和離散設備。失效分析(FA)的應用涉及到發射顯微鏡,它需要接觸晶圓的頂部或活動面,同時使用增強型或紅外相機從另一側成像。晶圓片安裝時通常背面朝上朝向發射相機,而上部朝下。這簡化了查找故障位置和確定故障根本原因的過程。包括SemiProbe在內的一些公司都有這種應用的解決方案。根據發射顯微鏡的類型和制造商,探測的一面可以是頂面或底面。

第二種類型的DSP系統用于探測分立大功率器件,包括晶閘管、二極管、整流器、電壓抑制器、功率晶體管和/或IGBT。由于測試這些設備所用的功率,通過偏置卡盤進行普通背面接觸是無法獲得準確的結果的。通過單獨接觸DUT(被測設備)的背面,可獲得準確的結果。此外,由于這些測試中所使用的功率,通常需要多個探頭。

隨著半導體行業不斷努力在降低成本的同時提高設備的性能,新技術正在成為產品設計和生產的主流,這些新技術需要DSP解決方案——MEMS、光電子、硅通孔等等。另一個新興的DSP應用涉及在晶圓上方或下方安裝太陽模擬器頭,以刺激另一面偏壓的裝置。在設計工作和表征方面,SemiProbe已開創了一些創新的DSP解決方案來探測這些設備。

Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺 針尖

產品特點:

  • 可靈活改變測試尺寸
  • 支持雙面探針測試
  • 模塊化設計,可以更換關鍵部件
  • 結構簡潔,方便操作

應用范圍:

  • 光伏工業
  • 材料科學
  • 光電行業
  • 失效分析
  • 通信器件測試
  • 微機電技術

Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺技術參數:

  • 輸入電壓:110/220V 50/60Hz,20A
  • 空氣:小流量100psi
  • 真空:23 Hg or -0.8 bar
  • 卡盤X-Y軸軌道:手動或編程控制
  • 行程:205*205mm
  • 卡盤Z軸軌道:手動或編程控制
  • 行程:可達20mm
  • θ移動:手動(>30°)或編程控制(±4°)
  • 顯微鏡移動:手動或編程控制
  • 行程:50x50mm-200x200mm
  • 卡盤載體:75mm,100mm,150mm,200mm
  • 部分晶圓片
  • 芯片托盤
  • 壓盤材料:鋁與鍍鎳鋼
  • 光學元件:
  1. 顯微鏡:大多數為立體變焦,100x放大倍數
  2. 底部:數碼變焦鏡
  3. 相機:兩個光學元件都有CCTV相機,通過視頻開關連接到顯示器上

可選配件:

包括隔振臺、暗箱、探針卡、操縱器、探測臂和基座、探針,光學部件,CCTV 系統、其他晶圓片載體等

標簽:探針臺隔振隔振臺


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