雙面探針系統基于SemiProbe的探針系統(PS4L)自適應結構設計制造,提供了*的靈活性和強大功能。DSP解決方案可滿足探針從兩側;探針從頂部,檢測輸出從底部;探針從底部,檢測輸出從頂部的雙側測試需求。與傳統的探針系統不同,該系統所有的基礎模塊——基座、卡盤支架、卡盤、顯微鏡支架、顯微鏡移動、光學元件、操縱器等都是可更換升級的。這使得DSP能為許多不同應用提供完美的解決方案。*的模塊化設計使客戶能夠獲得精確滿足其要求的定制系統。更重要的是,隨著環境或測試條件的變化,PS4L可以很容易地進行現場升級,以滿足新的需求。
Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺產品描述:
Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺 基于SemiProbe的探針系統(PS4L)自適應結構設計制造,提供了*的靈活性和強大功能。目前,越來越多的應用要求能夠從模具或晶片的兩面進行探測。SemiProbe的DSP解決方案可滿足以下需求:
Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺 與傳統的探針系統不同,該系統所有的基礎模塊——基座、卡盤支架、卡盤、顯微鏡支架、顯微鏡移動、光學元件、操縱器等都是可更換升級的。這使得DSP能為許多不同應用提供完美的解決方案。*的模塊化設計使客戶能夠獲得精確滿足其要求的定制系統。更重要的是,隨著環境或測試條件的變化,PS4L探針系統可以很容易地進行現場升級,以滿足新的需求。與傳統檢測設備相比,能夠讓客戶節約更多時間,更多成本。
雙面探針系統(DSP)的發展:
雙面探針系統(DSP)初是用于兩個應用:失效分析和離散設備。失效分析(FA)的應用涉及到發射顯微鏡,它需要接觸晶圓的頂部或活動面,同時使用增強型或紅外相機從另一側成像。晶圓片安裝時通常背面朝上朝向發射相機,而上部朝下。這簡化了查找故障位置和確定故障根本原因的過程。包括SemiProbe在內的一些公司都有這種應用的解決方案。根據發射顯微鏡的類型和制造商,探測的一面可以是頂面或底面。
第二種類型的DSP系統用于探測分立大功率器件,包括晶閘管、二極管、整流器、電壓抑制器、功率晶體管和/或IGBT。由于測試這些設備所用的功率,通過偏置卡盤進行普通背面接觸是無法獲得準確的結果的。通過單獨接觸DUT(被測設備)的背面,可獲得準確的結果。此外,由于這些測試中所使用的功率,通常需要多個探頭。
隨著半導體行業不斷努力在降低成本的同時提高設備的性能,新技術正在成為產品設計和生產的主流,這些新技術需要DSP解決方案——MEMS、光電子、硅通孔等等。另一個新興的DSP應用涉及在晶圓上方或下方安裝太陽模擬器頭,以刺激另一面偏壓的裝置。在設計工作和表征方面,SemiProbe已開創了一些創新的DSP解決方案來探測這些設備。
應用范圍:
Semiprobe雙面探針臺-雙面量測探針臺技術參數:
可選配件:
包括隔振臺、暗箱、探針卡、操縱器、探測臂和基座、探針,光學部件,CCTV 系統、其他晶圓片載體等
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