英國Deben出品的PCD型束閘是設計用來為JEOL和Hitachi的FEG場發射、LaB6六硼化鑭和鎢燈絲掃描電鏡提供電子束的消隱（阻斷、開關）、脈沖或其他調制能力。該束閘安裝在電鏡鏡筒側面的PCD端口（與終孔徑光闌相對）上，可在高達30千伏的電鏡加速電壓下工作，開關時間約為50納秒。還具有一個集成的法拉第杯和探針電流探測器（PCD），用于指示探針電流。如果需要更精確的束流讀數，則可用所提供的BNC連接器連接到可選的探針電流表。

英國DEBEN電子束束閘

許多掃描電鏡都具有內置的束閘，通過使用鏡筒掃描線圈來阻斷電子束。雖然該方法適用于某些應用，但電子束阻斷速度通常較慢，僅為幾毫秒量級；如果需要更快的消隱阻斷速度，則應安裝單獨的高速靜電場型束閘。

英國Deben出品的PCD型束閘是設計用來為JEOL和Hitachi的FEG場發射、LaB6六硼化鑭和鎢燈絲掃描電鏡提供電子束的消隱（阻斷、開關）、脈沖或其他調制能力。該束閘安裝在電鏡鏡筒側面的PCD端口（與終孔徑光闌相對）上，可在高達30千伏的電鏡加速電壓下工作，開關時間約為50納秒。還具有一個集成的法拉第杯和探針電流探測器（PCD），用于指示探針電流。如果需要更精確的束流讀數，則可用所提供的BNC連接器連接到可選的探針電流表（見本頁末“五檔束流表”）。

偏轉板機構可置入鏡筒的中軸線處，在不需要時也可*抽出。束閘極板由鈷金鍍層的磷青銅制成，以確保插入極板時不影響掃描電鏡的正常工作。極板的長度和間距已被優選以確保在1kV到30kV的加速電壓范圍內都能獲得的電子束阻斷效率。

整套束閘系統包括一個PCD端口適配器，并帶有可伸縮的束閘極板組件和集成的脈沖驅動器。含一個遠程脈沖驅動輸入和一個小型桌面控制器。可選的RS-232接口允許直接從計算機控制的電子顯微鏡或自動電子束光刻系統控制束閘系統。

Deben電子束束閘可用于阻斷SEM電子束（打開和關閉電子束），此功能主要用于電子束曝光刻寫系統，也用于EDX、CL或EBIC。

儀器特點：

• 集成的法拉第杯，方便檢測束流
• 開關響應快，時間短
• 電動插入式極板
• 5V TTL電平控制輸入
• 可選的RS-232遠程控制
• 兼容電鏡加速電壓30 kV
• 適配于大部分JEOL及Hitachi電鏡

*應用：

• 電子束曝光（EBL）
• 陰極發光（CL）
• EBIC成像/電壓襯度成像
• EDX
• 掃描電聲顯微鏡

可選的五檔束流表：n

• 自動校零
• 25°C時大誤差5pA
• 過載：超過100μA
• 功率：電池4 x AA堿性電池，通常工作10000小時（1.2年）
• 尺寸：130mm（寬）x 70mm（高）x 115mm（深）

注：英國DEBEN PCD型束閘通常與美國NPGS納米圖形發生器、EBIC等設備配套使用。