產品特性

觀測位置始終處于全幅對焦狀態實時深度合成

無需焦點調整，全新觀測形式

3D顯示功能

技術參數

XY電動載物臺

XY自動載物臺2相步進馬達

XY自動載物臺分辨率：1μm（typ.）

XY自動載物臺移動速度：10mm/s（大）

XY自動載物臺移動量：±20mm

θ旋轉角±90°

XY載物臺尺寸：上方171mm×168mm（*圓板φ100）

透射照明觀測對應倍率：20倍以上

Z電動載物臺

Z自動載物臺5相步進馬達

Z自動載物臺分辨率：0.1μm（typ.）

Z自動載物臺移動速度 ：17mm/s（大）

Z自動載物臺移動量：49mm

測量功能

物TRIPLE‘R功能

高分辨率尺寸測量功能

距離﹑角度﹑半徑﹑面積等

自動計數/面積測量等

標尺顯示功能

自動邊緣檢測功能

全自動圖像校正功能

一鍵圖像校正功能

測量點再設定功能

測量值自由顯示功能

尺寸顯示功能

測量輔助功能

CSV保存功能

3D彩色/標尺顯示高度功能

2點間高度測量功能

3D輪廓測量

3D截面輪廓測量

3D體積測量

3D面之間的距離測量

3D面之間的角度測量

探頭參數

我司可提供多種類型的探頭可滿足你不同的應