庫賽姆COXEM桌面臺式掃描電鏡EM-30 PLUS 系統

設備構成
a.光學系統
光源：自動控制，發叉式鎢絲陰極。
分辨率 ：5.0nm @30kV SE
放大倍數：20x – 150,000x
加速電壓：1 kV - 30 kV（連續30檔可調）
b.樣品室系統
樣品室：6個接口，可接配內外置EDS。
樣品尺寸(大)：直徑60mm， 高度45mm
c. 探測器系統
SE Detector 二次電子探測器
BSE Detector 背散射電子探測器（可伸縮的高靈敏四分割半導體背散射電子探測器）
d. 控制器
計算機系統
圖像管理軟件
e. 真空系統
隔膜泵：MVP 020-3AC
渦輪分子泵真空系統: 210 Liter/sec