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氦質(zhì)譜檢漏儀

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島津 MSE-2400系列氦質(zhì)譜檢漏儀

——分析管270°磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)(0.17T)氦質(zhì)譜檢測(cè)系統(tǒng)


什么是氦質(zhì)譜檢漏儀?


眾多檢漏方法中,氦質(zhì)譜檢漏儀為現(xiàn)在檢測(cè)高真空度的*。島津新推出的MSE-2400系列氦質(zhì)譜檢漏產(chǎn)品,性能,優(yōu)勢(shì)突出。


產(chǎn)品型號(hào)




MSE-2400全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀(油泵)
搭載油旋片泵。

MSE-2401全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀(干泵內(nèi)置緊湊式)
采用非接觸式干泵為無(wú)塵室提供更優(yōu)化的真空系統(tǒng)。

MSE-2402/2403全自動(dòng)便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀(干泵外置搭載式)
采用非接觸式干泵為無(wú)塵室提供更優(yōu)化的真空系統(tǒng)。




MSE-3400/MSE-3410 全自動(dòng)移動(dòng)式高性能氦質(zhì)譜檢漏儀
針對(duì)各種真空及汽車相關(guān)零部件的正規(guī)生產(chǎn)線檢查機(jī)。

MSE-4400 電子封裝類氦質(zhì)譜檢漏儀
在線大批量氣密性檢測(cè)機(jī)型,適用于半導(dǎo)體元器件、電子封裝器件等氣密性檢測(cè)。



氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)方法




真空吹氣法(Spray法,噴氦法) (工作容積約5升)

  • 將被測(cè)件內(nèi)部抽成真空,在外部吹撒氦氣。氦氣會(huì)從泄露處進(jìn)入,然后被檢測(cè)出來(lái)。

  • 適用于焊接管道、波紋管、密封接頭等的泄露測(cè)試。



真空外覆法(真空Hood法,真空氦罩法)

  • 將待測(cè)件內(nèi)部抽成真空,外面包裹充滿氦氣的外罩。如果有泄露,在待測(cè)件內(nèi)部可以檢測(cè)出氦氣的存在。

  • 適用于流量計(jì)等的測(cè)試。



吹入法(吸槍法,sniffer法)

  • 因?yàn)閺?qiáng)度或者其他原因,在待測(cè)件不能被抽成真空的情況下,可以在待測(cè)件內(nèi)部加壓注入氦氣(或者氦氣與其他氣體的混合氣體),如果有泄露,可以使用吸槍在泄漏點(diǎn)附近檢測(cè)出氦氣。

  • 適用于壓縮機(jī)、熱交換器、冷凝器等的測(cè)試。

※需要使用吸槍。




浸入法(bombing法,鋼瓶法)

  • 將被測(cè)件使用加壓裝置充入氦氣,放入測(cè)試倉(cāng)中。由于壓力差的存在,如果被測(cè)件又泄露,在測(cè)試倉(cāng)中將會(huì)檢測(cè)到氦氣。

  • 適用于石英晶體振蕩器、SAW濾波器等的泄露檢測(cè)。

※需要加壓裝置和檢測(cè)倉(cāng)。



真空容器法(Chamber法,ベルジャー法)

  • 將被測(cè)件充入氦氣,放在粗真空倉(cāng)中,真空倉(cāng)排氣管與檢漏儀相連。如果有泄露,在真空倉(cāng)中將會(huì)檢測(cè)到氦氣。

  • 適用于滅火器,氣囊充氣設(shè)備的測(cè)試等。



并列排氣法

  • 用于大型的設(shè)備和大容積真空倉(cāng),通過(guò)檢測(cè)抽氣設(shè)備所排出的氦氣檢測(cè)泄露。

  • 適用于真空蒸鍍?cè)O(shè)備、吸收式制冷機(jī)、真空爐等設(shè)備的檢測(cè)與維護(hù)。

※無(wú)線檢漏設(shè)備為選配。




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