等離子清洗機
DIENER 等離子清洗機

Femto PCCE 創新觸摸屏
適用制程研發, 清潔, 活化, 蝕刻

等離子清洗機

DIENER   等離子清洗機

Femto PCCE  創新觸摸屏

適用制程研發, 清潔, 活化, 蝕刻

外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm

反應室尺寸: Ø 100 mm, L 280 mm

氣體供應: 流量控制型 ; 雙氣體通道

射頻發生器: 40kHz/100 W, 可調變輸出功率

真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)

控制方式: 電腦控制 

蘇州和諧電子技術有限公司

：劉