該系統(tǒng)利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺掃描技術(shù)，并與壓電陶瓷(PZT)掃描*結(jié)合，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又呈現(xiàn)局部三維形貌像。其中樣品臺掃描參考平面使用超高平坦度光學(xué)拋光平臺，有效解決了以往樣品臺掃面，由于絲杠公差引起的測試結(jié)果有亞微米量級的誤差。

三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...)，三維粗糙度(Sa,Sq,Sm

1、常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合
2、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖
3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
4、在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察
5、針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（zui小０.１nm ）
6、軟件設(shè)置恒定微力接觸
7、簡單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面


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