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等離子體表面處理儀是一種干式工藝，是通過(guò)利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的，又被稱(chēng)之為等離子清洗機(jī)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，其廣泛存在于宇宙中，常被視為是去除固、液、氣體外，物質(zhì)存在的第四態(tài)，能夠利用經(jīng)過(guò)巧妙設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)來(lái)捕捉、移動(dòng)和加速等離子體。
等離子體表面處理儀產(chǎn)生的等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來(lái)越稀薄，分子距離以及分子或離子之間的自由運(yùn)動(dòng)距離也越來(lái)越長(zhǎng)，受到電場(chǎng)作用時(shí)，他們之間發(fā)生相互碰撞，從而形成了等離子體。這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，例如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能夠氧化光刻膠反應(yīng)所生成的氣體，從而達(dá)到清洗的效果。并且腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。
等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)就是無(wú)論是什么基材類(lèi)型，都能夠進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，像是聚丙烯、聚酯、聚氯乙烷、環(huán)氧，甚至是聚四氟乙烯都能很好地處理，并且能夠?qū)崿F(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
需要注意的是，等離子表面處理儀并不能處理掉任何產(chǎn)品表面的油質(zhì)臟污，其主要作用是改變材料表面的圍觀結(jié)構(gòu)，從而提高附著效果，這個(gè)材料本身表面就是潔凈的。
等離子體表面處理儀的用途：
1.能夠用于印刷包裝行業(yè)的粘接表面處理，提高粘接強(qiáng)度、降低成本、穩(wěn)定粘接質(zhì)量，并且無(wú)塵、清潔環(huán)保；
2.醫(yī)療材料研究；
3.高端和精密研究的清洗、除污，以保證儀器的正常使用；
4.電化學(xué)單位，進(jìn)行表面處理的相關(guān)單位；
5.高分子材料研究或開(kāi)發(fā)單位；
6.生物芯片領(lǐng)域；
7.其他主要進(jìn)行表面處理的領(lǐng)域。
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