功能性：適合所有晶園尺寸
特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測(cè)。MX63可用于大晶圓
直徑200mm，MX63L可用于大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實(shí)現(xiàn)

可靠、安全、高效的對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行檢測(cè)。

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源，兼顧低功耗和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫

為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微
鏡的觀察能力。MIX可將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，
MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
利用的圖像處理技術(shù)，高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善
了數(shù)字圖像的視覺(jué)品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級(jí)的報(bào)告。

利用光強(qiáng)管理器和自動(dòng)孔徑控制實(shí)現(xiàn)快速觀察
對(duì)于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對(duì)不同
的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時(shí)間又
可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

從基本測(cè)量到高級(jí)分析
測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要。基于這一想法，即便入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包
也包括交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。
此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖
像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。可大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中
在檢測(cè)工作上。

讓您的大尺寸樣品檢測(cè)流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)保持檢測(cè)者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下，可以簡(jiǎn)化從觀察到報(bào)告生成的整體工作流。
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。
從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察與圖像采集
通過(guò)將暗場(chǎng)與諸如明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。