儀器特點
◆鑄鐵基座經過嚴格的時效處理，保證整體穩定性。
◆高牌號工作臺，經過嚴格熱處理時效，長期使用保證基準面不變形，導軌運行精度穩定。
◆采用優秀的無限遠高倍率光學系統。
◆采用LED光源照明系統，保證高亮度，長壽面。
◆采用無間隙光桿傳動工作臺，保證測量精度。
◆超高的工作距離，采用步進電機升降，方便調節，自帶DIC裝置插槽。
◆粗、微調焦裝置，微調*小每格0.002mm。
◆貼近用戶的靈活性，儀器的部件升級無需*人員，用戶可自行操作完成。


應用領域
該儀器適用于LED、硅晶片、精密零件、導電粒子彩色濾光片、手機屏幕、FPD模組半導體晶片、FPC-PCB、IC封裝光盤CD、圖像傳感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相觀察及精確測量行業。




技術參數

儀器型號	RX-200	RX-300
X，Y，Z向測量行程（mm）	200x100x200	300x200x200
工作臺面（mm）	400x300	450x350
外形尺寸（mm）	600x350x1040	700x450x1040
測量精度	X，Y軸:（3+L/200）μm     Z軸:（5+L/200）μm
重復精度	3μm
光柵尺分辨率	0.001mm
光學系統	無限遠光學系統
CCD	高分辨率500萬像素
鏡頭	標準金相顯微鏡鏡頭（帶偏光片組，LED燈源）
物鏡	5X，10X，20X，50X
目鏡筒	鉸鏈式三目鏡筒、30°傾斜、瞳距：55～75mm
目鏡	高亮點、大視場目鏡
調焦組	粗、微調焦裝置，微調*小每格0.002mm
數顯裝置	多功能數顯表
測量軟件	YR-J
上光源	LED燈
下光源	平行光路設計，無極連續可調LED冷光源

備注：根據客戶需求，可特殊定制。