EM-20標配SE探測器，觀察微觀區(qū)域精細表面形貌，同時可選配BSE和EDS，表征微區(qū)成分信息，可擴展低真空觀察模式，非導電樣品直接用Bse探測器觀察，免制備導電膜層。
EM-20使用當前的電子光學設計，自動控制技術，二次電子分辨率達到7nm @20KV，是目前臺式掃描電鏡的zui高水平。
標準配置兩軸馬達驅動樣品臺，高速渦輪分子泵真空系統(tǒng)，電子光學系統(tǒng)調節(jié)，全部由酷塞目[COX

產(chǎn)品簡介
    EM-20標配SE探測器，觀察微觀區(qū)域精細表面形貌，同時可選配BSE和EDS，表征微區(qū)成分信息，可擴展低真空觀察模式，非導電樣品直接用Bse探測器觀察，免制備導電膜層。
    EM-20使用當前的電子光學設計，自動控制技術，二次電子分辨率達到7nm @20KV，是目前臺式掃描電鏡的zui高水平。
    標準配置兩軸馬達驅動樣品臺，高速渦輪分子泵真空系統(tǒng)，電子光學系統(tǒng)調節(jié)，全部由酷塞目[COXEM]NanoStation計算機導航自動操作。除了自動功能以外，EM-20掃描電鏡還提供給更加專業(yè)的用戶所有手動調節(jié)功能，使得EM-20幾乎具備大型機所有的調節(jié)功能，從而獲得更加專業(yè)的圖像品質。有別于其他“傻瓜”型臺式掃描電鏡，EM-20是一臺“單反”型產(chǎn)品。    

技術特點：

      *自動高亮度電子槍，全數(shù)字化高壓電源，0.5KV~20KV范圍內隨意調節(jié)；
      *聚光鏡精細控制 Spot size設置10檔調節(jié)；
      *圓錐形物鏡，具有更高分辨性能；
      *四孔可變光闌，分別用于高分辨觀察和不同的分析目的。
      *實時灰度直方圖，自動亮度對比度；
      *X Y 兩軸自動樣品臺  
      *可選Bse探測器、低真空功能和能譜儀。
      *酷塞目NanoStation操作軟件，內含豐富的圖像編輯處理功能

技術指標：
分辨率：7nm＠20kv SEI 
電子槍：發(fā)叉式鎢絲陰極, 預對中燈絲
放大倍數(shù)：X20 to X80，000
加速電壓：0.5kV to 20kV 
探測器：SE Detector，EDS/BSE（可選） 
真空系統(tǒng)：全自動渦輪分子泵系統(tǒng) 達高真空時間小于3分鐘  
樣品臺：X axis：35mm（馬達驅動） 
            Y axis：35mm（馬達驅動） 
            Z axis：5 to 60mm 
            R axis：360度 
樣品尺寸：45mm（H），70mm（Diameter） 
視頻采集分辨率（Pixel）：選區(qū)（320x240），TV（640x480），Slow（800x600）， 
                                  Photo（1280x960，2560x1920，5120x3840） 
幀頻：選區(qū) （Max.30 frames/sec），
         TV   （Max.10 frames/sec） 
         Slow （Max.2 frames/sec） 
自動功能：Start，F(xiàn)ocus，F(xiàn)ilament，Brightness/Contrast 
計算機操作系統(tǒng)：Windows 7 
操作方式：鍵盤/鼠標，全觸摸屏操作（可選） 
外形尺寸：400（W）x 600（L）x 550（H）mm 
重量：80kg