R54電阻率測量儀

高級薄膜電阻率測繪系統

Filmetrics R54是KLA薄膜電阻和導電率測繪系統的創新。R54是代表了KLA超過45年的電阻測量技術地位的之作。自從1975年我們臺電阻率測試儀問世以來，KLA公司系列產品已經了導電薄膜得薄膜電阻和厚度的測量方式。

從半導體制造到實現可穿戴技術所需的柔性電子產品，薄膜電阻監控對于任何使用導電薄膜的行業都至關重要。R54在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進行了優化。

系統優勢

• 測試點自定義編輯,包括矩形、線性、極坐標以及自定義配置

• 可選最多可容納300毫米圓形或A4（210mm*297mm）樣品

• 導體和半導體薄膜電阻，10個數量級范圍適用

• 接觸式四點探針(4PP)和非接觸式電渦流(EC)配置

• 封閉系統便于測量光敏或者環境敏感樣品

• 15mm 樣品高度

• 高精度 X-Y 平臺

• 業內最小的 EC 探頭尺寸

應用市場

• 半導體

• 封裝

• 平板和VR顯示

• 穿戴設備

• 化合物半導體

• 太陽能

• 印刷電路

• 導電材料

R54規格參數

R54應用

RsMapper軟件:

測量自動化地圖模式生成器，內置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點圖案樣品的相關區域，從而節省了數據采集期間的時間。

這只是您可以使用的一些參數。

進行調整以自定義地圖的屬性:

• 圓形或正方形地圖

• 徑向或矩形圖案

• 中心或邊緣排除

• 點密度