產品描述P-7臺式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境

產品描述

P-7臺式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。

主要功能

·        臺階高度：幾納米至1000μm

·        微力恒力控制：0.03至50mg

·        樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

·        視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

·        圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·        軟件：簡單易用的軟件界面

·        生產能力：通過測序，模式識別和SECS/GEM實現全自動化

主要應用

·        臺階高度：2D和3D臺階高度

·        紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·        形狀：2D和3D翹曲和形狀

·        應力：2D和3D薄膜應力

·        缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業應用

·        大學、研究實驗室和研究所

·        半導體和化合物半導體

·        LED：發光二極管

·        太陽能

·        MEMS：微機電系統

·        數據存儲

·        汽車

·        醫療設備

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