納米級光纖激光干涉尺一、產品簡介光纖激光干涉測量尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的位置檢測設備，可實現非接觸無損傷遠距離檢測，分辨率達納米級，是科學和工業發展中的檢測技術，在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用，對提升高科技產品加工質量起到了關鍵作用
光纖激光干涉測量尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的位置檢測設備，可實現非接觸無損傷遠距離檢測，分辨率達納米級，是科學和工業發展中的檢測技術，在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用，對提升高科技產品加工質量起到了關鍵作用。同時當代激光干涉技術具有靈敏度高、量程大及可適應惡劣環境等優點，光波可以直接對米進行定義且容易溯源。基于激光干涉測量的光纖激光尺在非接觸高精度測量領域具有其它測量方法的優勢，相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，同時具有安裝快捷，易于準直等特點，是特別為超高精度位置反饋而設計的，特別是在光刻機領域具有明顯應用價值。
光纖激光干涉尺是零差激光干涉測量系統，特別為位置反饋應用而設計，安裝快捷，易于準直，可輕松實現固有的高分辨率（到10nm）和最小SDE（電子細分誤差），激光源和探測裝置分離，有效隔離熱源，提高測量穩定性。光纖激光干涉尺主要包括激光發射裝置和干涉測量探頭。激光發射裝置通過將氦氖激光耦合進入保偏光纖中，并用3m長鎧裝光纖引導至光纖準直裝置，最終與干涉測量探頭配合使用，為干涉測量裝置提供高質量光源。激光反射裝置有單軸、雙軸以及三軸三種配置可選，內部包括HeNe（氦氖）激光源、用于穩頻的電子器件、光纖耦合裝置、光纖傳導裝置和軸位置反饋電子器件等。干涉測量探頭是光學測量系統的核心，包括干涉儀光學系統、多通道條紋檢測系統和光束轉向機構。光纖激光干涉尺提供了三種不同的干涉儀配置，包括角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀。角錐棱鏡干涉儀探頭測量探頭內的參考光路和位于測量軸上的角錐反射器目標光路之間的相對位移，用于單軸線性測量。平面鏡干涉儀探頭可以確定安裝在探頭內的參考光路和位于測量軸上的平面鏡目標光路之間的相對位移，實現光學倍頻，分辨率更高，尤其適用于XY平臺測量。差分干涉儀探頭測量兩個平面鏡目標之間的相對位移，其中一個是固定位置的參考鏡（通常位于工具上），確保了過程關鍵組件之間的準確定位，并消除了共模誤差。
l 高分辨率輸出，分辨率達10nm（可拓展）。 l
l 高測量精度，測量精度優于0.5ppm，為高精度加工提供精確定位。
l 高穩頻精度，可達0.05ppm（可選配0.02ppm）。
l 測量范圍大，量程可達4m（可拓展）。
l 激光發射裝置與測量探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機遠離被測量設備，便于安裝，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。
l 多種輸出信號可選擇，光纖激光尺可輸出正交數字差分相信號和1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。
l 體積小巧，需要安裝在被測設備上的干涉探頭尺寸只有 39x76x120mm，只有手掌大小，適合狹小空間安裝。
l 多通道輸出，最多可同時連接三路探頭，實現多軸同時測量。
l 開放的 API 接口，用戶可以使用 API 接口做二次開發，更好的使用光纖激光尺。
l 環境補償功能，一體化的環境氣象站自動監視及更新環境氣象參數，實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準確性。
l 功能強大的測量數據分析軟件，具有靜態和動態測量機床、光刻機運動平臺、XY平臺等的線性、角度、直線度等測量分析功能；
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