LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統（彩色成像光學系統和激光共聚焦光學系統）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
OLS5000擁有四個關鍵價值
1.捕捉任意表面形狀
2.快速獲得可靠數據
3.使用簡單-只需放好樣品按下按鈕即可
4.測量具有挑戰性的樣品
技術規格
| 型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 總倍率 | 54x - 17,280x | |||||
| 視場直徑 | 16um - 5,120um | |||||
| 測量原理 | 光學系統 | 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 彩色 彩色DIC | ||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch） | |||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 動態范圍 | 16 bits | |||||
| 重復性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 準確性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接圖像準確度 *1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 測量噪聲*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1nm | ||||
| 重復性 *1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 準確度*1 *3 *6 | 測量值 +/- 1.5% | |||||
| 拼接圖像準確度 *1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 單次測量時測量點的數量 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 測量點的數量 | 36 Mpixel | |||||
| XY 載物臺配置 | 長度測量模塊 | • | 無 | 無 | • | 無 |
| 工作范圍 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 樣品高度 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波長 | 405nm | ||||
| 輸出 | 0.95 mW | |||||
| 激光分類 | 2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 質量 | 顯微鏡主體 | 約31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約43 kg約 | 44 kg |
| 控制箱 | 約12 kg | |||||
*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)規定的恒溫恒濕環境下使用時提供保證 (溫度: 20˚C±1˚C, 濕度: 50%±1%) 。
*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物鏡測量時.
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時.
*4 在使用20X或更高倍率專用LEXT物鏡測量時.
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值
*6.基于奧林巴斯認證體系保證
4K 掃描技術
4K掃描技術可在X軸方向掃描4096像素，是傳統機型的四倍。由此提高了高度測量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。OLS5000顯微鏡無需圖像處理就能檢測幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺階 智能判定功能
由于傳統激光顯微鏡采用圖像平滑處理的方式來消除噪聲，有時會將測得的正確的細微高度不規則數據連同噪聲儀器消除。OLS5000顯微鏡采用奧林巴斯自動檢測可靠數據的智能判定算法，可在不丟失細微高度不規則數據的情況下實現精確測量。 其他高分辨率測量技術
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