一、用途:ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業檢驗用光學儀器,配置明/暗場物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置,透反射照明采用“柯勒”照明系統,景深大,視場清晰
一、用途:
ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業檢驗用光學儀器,配置明/暗場物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置,透反射照明采用“柯勒”照明系統,景深大,視場清晰。可用于半導體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業試樣檢驗,是生物學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子工程學研究的理想儀器。
二、系統簡介
本系統是將傳統的光學顯微鏡與計算機(數碼相機)通過光電轉換有機的結合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計算機(數碼相機)顯示屏幕上觀察實時動態圖像,并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。
ZYG-1000 系列硅片顯微鏡,采用無限遠聚光系統。
三、技術參數
1.目鏡
類 型 | 放大倍數 | 視場(mm) | 備 注 |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
|
20X | Φ18(選配) |
| |
平場分劃目鏡 | 10X | Φ22(選配) | 格值:0.1mm |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數 | 數值孔徑NA | 工作距離 |
無限遠平場 消色差(明/暗 場)物鏡 | 5X | 0.12 | 8.05 |
10X | 0.25 | 7.86 | |
20X | 0.40 | 7.23 | |
40X(選配) | 0.60 | 3.0 | |
50X | 0.70 | 1.75 | |
80X | 0.80 | 0.80 | |
100X(干)(選配) | 0.85 | 0.40 |
3.光學放大倍數:50X—1600X
4.濾色片組:黃色、藍色、綠色;
5.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片;
6.載物臺:外形尺寸:280×270mm,移動范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm;
7.粗微同軸調焦機構,微動手輪格值:0.007mm;
8.反射照明器:12V/50W鹵素燈,亮度可調。內置視場光闌、孔徑光闌、濾色片轉換裝置,推拉式檢偏器與起偏器;
四、系統組成
電腦型(ZYG-1000E): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數字彩色攝像機 4.數據線 5.計算機(選購)
數碼相機型(ZYG-1000D): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數碼相機(選配)
五、選購件: 1.高像素成像系統 2.金相顯微鏡分析軟件
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