| 奧林巴斯激光共焦顯微鏡OLS5100 | |||||
| 主機 | | | | | |
| 型號 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | |
| 總倍率 | 54x–17,280x | ||||
| 視場 | 16 µm–5,120 µm | ||||
| 測量原理 | 光學系統 | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | |||
| 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 | |||||
| 顏色 | |||||
| 彩色DIC | |||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2通道） | ||||
| 彩色：CMOS彩色相機 | |||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 nm | |||
| 動態范圍 | 16位 | ||||
| 重復性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm | ||||
| 準確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]） | ||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) | ||||
| 測量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 nm | |||
| 重復性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm | ||||
| 準確度*1 *3 *5 | 測量值+/- 1.5% | ||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長度[mm]） | ||||
| 單次測量時測量點數量 | 4096 × 4096像素 | ||||
| 測量點數量 | 3600萬像素 | ||||
| XY載物臺配置 | 長度測量模塊 | • | 不適用 | 不適用 | • |
| 工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動 | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | |
| 樣品高度 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 210 mm (8.3 in.) | |
| 激光光源 | 波長 | 405 nm | |||
| 輸出 | 0.95 mW | ||||
| 激光等級 | 2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | ||||
| 彩色光源 | 白光LED | ||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
| 質量 | 顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
| 控制箱 | 約 12 kg | ||||
| 物鏡 | | | | | |
| 系列 | 型號 | 數值孔徑（NA） | 工作距離（WD）（mm） | | |
| UIS2物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 | | |
| MPLFLN5x | 0.15 | 20 | | | |
| 專用LEXT物鏡（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 | | |
| 專用LEXT物鏡（高性能型） | MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | | |
| MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 | | | |
| MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | | | |
| 專用LEXT物鏡（長工作距離型） | LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | | |
| LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5.2 | | | |
| LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | | | |
| 超長工作距離物鏡 | SLMPLN20x | 0.25 | 25 | | |
| SLMPLN50x | 0.35 | 18 | | | |
| SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | | | |
| 適用于LCD樣品的長工作距離物鏡 | LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | | |
| LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | | | |
| LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 | | | |
| 應用 軟件 | | | | | |
| 標準軟件 | OLS51-BSW | | |||
| 數據采集app | 分析應用程序（簡單分析） | | |||
| 電動載物臺套件應用*1 | OLS50-S-MSP | | |||
| 高級分析應用*2 | OLS50-S-AA | | |||
| 薄膜厚度測量應用 | OLS50-S-FT | | |||
| 自動邊緣測量應用 | OLS50-S-ED | | |||
| 顆粒物分析應用 | OLS50-S-PA | | |||
| 智能實驗管理助手應用 | OLS51-S-ETA | | |||
| 球體/圓柱體表面角度分析應用 | OLS50-S-SA | | |||
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