蔡司 Axio Imager Vario
用于檢測(cè)大尺寸樣品的正置式顯微鏡
檢查大尺寸樣品–滿足自動(dòng)化潔凈室的要求
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器，檢測(cè)期間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm，橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測(cè)試的樣品范圍。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至理想的聚焦位置。
潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測(cè)需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級(jí)。Axio Imager Vario已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。ISO 5級(jí)潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FED STD 209E（1992）的100級(jí)。潔凈室套件中包含一個(gè)7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個(gè)顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩。
具有兩種手動(dòng)機(jī)柱和一種電動(dòng)機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的橫向樣品空間300 mm x 300 mm和樣品高度254 mm的優(yōu)勢(shì)。
Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
借助硬件自動(dòng)對(duì)焦功能，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。
將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證，并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。
具有硬件自動(dòng)對(duì)焦功能的Axio Imager Vario能夠在高達(dá)12000 µm的焦點(diǎn)捕獲范圍內(nèi)精準(zhǔn)快速地聚焦反射樣品。聚焦系統(tǒng)能夠保證聚焦精度達(dá)到所使用物鏡景深的0.3倍。自動(dòng)聚集功能適合于使用反射光、透射光、明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應(yīng)用。
