晶圓搬送機 AL120

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具體成交價以合同協議為準

促銷時間：

特價說明：

促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

適應范圍廣、搭配靈活對應多種尺寸組合我們推出了200mm專用型、200mm/150mm兼用型和150mm型（對應小于150mm的晶圓）的3種型號

適應范圍廣、搭配靈活

對應多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據檢查模式，選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

薄片檢查

對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的薄晶圓。

高度實用性

進一步優化的宏觀檢查

操作便捷

為了滿足各種常規檢查的要求，AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示。使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT，便于操作者再次確認。

AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。

高度可靠性

優先考慮晶圓和操作者的安全

為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計。

在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環境保護方面遵守了RoHS指令。

堅固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。

人機工程學設計的載物臺

手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。

可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。

晶圓搬送機 AL120 規格
		200 mm專用型	200 mm/150 mm 兼用型				150 mm型
		AL120- LMB8- 90	AL120- LMB86- 180	AL120- L86- 180	AL120- LMB86	AL120- L86	AL120- LMB6- 150	AL120- L6- 150
晶圓尺寸（SEMI規格）		200mm	200mm / 150mm				150mm / 125mm / 100mm
晶圓最小厚度		90µm	180µm		400µm		150µm
片盒類型*		SEMI規格：25（26）個slot
片盒數		1
檢查模式		全部檢查／抽樣檢查
搬運順序	微觀檢查（顯微鏡檢查）	○	○	○	○	○	○	○
	表面宏觀檢查	○	○		○		○
	背面宏觀檢查	○	○		○		○
	二次背面宏觀檢查	○	○		○		○
晶圓定位（每 90o）		非接觸（定位平邊／V型槽）					非接觸（定位平邊）
適配顯微鏡型號		奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61
尺寸（mm）		主機部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配備顯微鏡時：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)					主機部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配備顯微鏡時：980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量（kg）（僅主機部分）		44	44	41	44	41	40	37
使用環境（電源／真空）		AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上