產品簡介

全新的一體化設計，工業測量顯微鏡具有優異的光學成像質量，方便使用的正像光學系統，是理想的檢測半導體器件的工具，支持3種激光波長，可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。工業測量顯微鏡可以廣泛應用于半導體、電子、冶金等行業的制造和研究領域。

描述

v  人機工程頭部：PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-　30°轉動，調整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。

v  管鏡：PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優化，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優化，當使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。

v  光路切換拉桿：通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時從攝像接口上入射的激光99%的進入光路，提高了激光效率；當轉換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。

v  偏光觀察：主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。

v  調焦機構：PSM-1000的調焦機構轉動舒適，工作可靠。調焦機構可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。

v  轉換器：PSM-1000采用4孔可調中轉換器，使用隨機配送的調中鑰匙，可以很方便地調整物鏡的齊中。

v  物鏡：PSM-1000采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡，提供了優異的成像質量。關于物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本。

v  數碼攝像系統：根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數碼攝像系統，就可以在電腦、電視或監視器上同步觀察。

v  照明系統：采用同軸垂直照明系統，光源采用外置冷光源。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。

v  探測工作站：PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進行硅片的測試。

v  激光裝置：PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補償墊片。無需專用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。

v  注:在安裝和使用激光器之前，請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產生的安全和性能問題，麥克奧迪實業集團有限公司對此概不負責。

規格說明