產品簡介全新推出的PA80MET/PA120MET晶圓檢查/FPD顯微鏡采用靈活的模塊化設計、不僅確保的光學性能,還具有安全穩定的鏡架結構,使之低重心、高剛性、高穩定性,極大的提高了顯微鏡的抗振能力,使PA80MET/PA120MET顯微鏡可廣泛的應用于工業檢測及大型試樣觀察,是晶圓行業、FPD行業的理想檢測工具
產品簡介
全新推出的PA80MET/PA120MET晶圓檢查/FPD顯微鏡采用靈活的模塊化設計、不僅確保的光學性能,還具有安全穩定的鏡架結構,使之低重心、高剛性、高穩定性,極大的提高了顯微鏡的抗振能力,使PA80MET/PA120MET顯微鏡可廣泛的應用于工業檢測及大型試樣觀察,是晶圓行業、FPD行業的理想檢測工具。
正置金相顯微鏡的成像效果受多種因素影響
一是球面象差。
造成這種現象的原因是球面單片透鏡的中心和邊緣厚度不同,即使是單色光通過時也會產生不同的折射,通過后不焦于一點,軸上象點被一個彌散的光斑所取代,這就是球面象差。為改善球面象差,目前均采用復合透鏡,即在主透鏡前加入發散凹透鏡。不過,這并不能消除,所以在使用顯微鏡時,可通過適當調整孔徑光闌的大小來改善。
二是象域彎曲。
直立物體通過透鏡獲得彎曲的圖像,稱為象域彎曲。其原因是遠軸細光束傾斜射入透鏡。這種象差對金相顯微照片特別不利,因此在金相照片時應選擇平面消色差和平面消色差鏡。因為對視場的邊緣進行了色差校正。
三是多色象差。
多色差是指白光通過鏡頭后,由折射引起的光分解(色散)引起的一系列采色群象現象。它又分為垂直色差和水平色差。垂直色差是指從軸上某一點發出的非單色光的光束。由于組成中包含不同(λ)的光波,會發生色散,導致這些光線交給軸上不同的點,形成一系列群體的色差。水平色差。由于不同顏色的光折射率不同,焦距也不同,但由于放大倍數與焦距有關,目的物體不在軸上的點在離軸不同的距離處形成從而產生水平色差,也稱放大色差。
技術規格
PA80MET | PA120MET | |
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 (CCIS®) | |
總放大倍數 | 50X-500X(選購100X,放大倍率1000X) | |
目鏡 | UC-WF 10X/25,屈光度可調 +/-5(標配)(選購15X/20X目鏡) | |
物鏡 | Plan S-APO平場半復消色差金相物鏡BF/BD5X-50X(100X選配), LPlan S-APO長距平場半復消色差金相物鏡(選配BF/BD 20X-100X) | |
觀察筒 | 正像三目觀察筒 (FN 25),傾斜角 20°,三筒光路2檔選擇:(目視:相機-100:0,0:100) | |
雙目鏡筒瞳距 | 50-75mm | |
樣品厚度 | 29.5mm | |
物鏡轉換器 | 五孔轉換器帶DIC插槽(BF、BF/BD可選) ,電動五孔轉換器帶DIC插槽(選配)(BF、BF/BD可選) | |
粗微調焦裝置 | 行程范圍:29.5mm,粗、微調同軸調焦 ,粗調:17.7mm/轉,微調:0.1mm/轉 上限位,松緊調節環 | |
機械移動載物臺 | 8"載物臺 | 12"載物臺 |
尺寸325(W) X 325(D)mm | 尺寸520(W) X 400(D)mm | |
行程200(X) X 200(Y)mm | 行程300(X) X 300(Y)mm | |
照明 | 柯勒照明系統 12V/100W 長壽命鹵素燈 | |
擴展功能 | 偏光觀察、DIC觀察、電動平臺、透反射機型 | |
其它 | 可配Moticam數碼成像系統和軟件 |
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