|  AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。穩(wěn)定且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和穩(wěn)定運(yùn)行。 | 自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格 | | | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F | | 晶圓尺寸 | 300毫米（半米1.15 t=775微米）可選：200毫米 | | 卡盒 | ●FOUP（前開統(tǒng)一吊艙）前開門標(biāo)準(zhǔn)夾
●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品
●FIMS-FOSB， FOSB | ●FOSB（前開式裝箱）前開門搬運(yùn)盒
●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品 | | 卡盒數(shù) | 單盒（裝載、卸載兼用） | | 卡盒設(shè)置高度 | 900 mm | | 裝載端口 | 有 | 無(wú) | | 搬運(yùn)順序 | 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 | | 檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | | 晶圓校準(zhǔn) | 非接觸式中間環(huán) | | 晶圓搬運(yùn)方式 | 真空吸附機(jī)械搬運(yùn) | | 適用顯微鏡 | 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L | | 應(yīng)用環(huán)境 | AC100~120 V，220~240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67~-80 Kpa | | 載物臺(tái) | XY手動(dòng)吸附載物臺(tái)，有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | | 重量（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg | 主要特性： 人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便 · 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。 · 分別對(duì)應(yīng)FOUP（Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。 堅(jiān)固、可靠和穩(wěn)定傳送 · 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和穩(wěn)定性，能夠穩(wěn)定可靠的傳送300 mm晶圓。 · 薄片，Warped晶圓皆能穩(wěn)定搬送。 · 宏觀觀察位置的較優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作流暢性。 | 
