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552 橢圓偏振光譜儀

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多功能性設計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，表征和分析的工具。

 

技術參數
· 光譜范圍：450-1000nm
· 多種微光斑自動選擇
· 光斑可視技術，可觀測任何樣品表面
· CCD探測器
· 自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向
· 自動調節; Z軸高度>35mm

主要特點
· 一鍵式操作，直接報告輸出
· 液晶調制技術，測量光路中無運動部件
· CCD 探測系統，快速全譜輸出
· 多個微光斑尺寸選擇，可視技術
· 多角度測量
· 可實現在線測量配


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