"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍,可以獲得高穩定的束流。通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
超高分辨率冷場發射
為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍
?沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍
?采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的優質性能
?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
?采用污染小、高真空樣品倉
?運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度
項目 | 內容 |
---|---|
二次電子分辨率 | Regulus 8100:0.7 nm(加速電壓15 kV);0.8 nm(著陸電壓1 kV) Regulus 8220/8230/8240:0.6 nm(加速電壓 15 kV);0.7 nm(著陸電壓 1 kV) |
著陸電壓 | Regulus 8100:0.1~2 kV Regulus 8220/8230/8240:0.01~20 kV |
放大倍率 | Regulus 8100:20~1,000,000倍 Regulus 8220/8230/8240:20~2,000,000倍 |
樣品臺控制 | Regulus 8100:3軸馬達臺(可選5軸馬達臺) Regulus 8220/8230/8240:5軸馬達驅動 |
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