高溫超納米壓痕測試儀(UNHT3HTV)高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在800°C以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量
高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT 技術與的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。
載荷 | |
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載荷 | 100 mN |
載荷分辨率 | 6 nN |
本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
位移 | |
位移 | 100 μm |
位移分辨率 | 0.003 nm |
本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
極限真空度 | 10? mBar |
溫度 | 800 °C |
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