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安東帕高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)

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高溫超納米壓痕測試儀(UNHT3HTV)高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在800°C以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量

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高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)

高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT 技術與的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。

關鍵功能

新一代的高溫納米壓痕測試儀

  • 環境條件下熱漂移 (< 0.5="" nm/min)="" 和整個溫度范圍內熱漂移="">< 3="">
  • 載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<0.1>
  • 高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統,允許在測量期間關閉初級泵,使振動降至。
  • 的加熱控制系統(3 項待批),采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱,以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。
  • 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標準

技術規格

載荷
載荷100 mN
載荷分辨率6 nN


本底噪音0.5 [rms] [μN]*
位移
位移100 μm
位移分辨率0.003 nm
本底噪音0.15 [rms] [nm]*

極限真空度10? mBar
溫度800 °C



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