支持多用戶(hù)
單個(gè)用戶(hù)可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營(yíng)造快捷的操作環(huán)境。用戶(hù)登錄時(shí)，即可加載已注冊(cè)過(guò)的設(shè)定。
同時(shí)顯示兩幅圖像
畫(huà)面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像。可同時(shí)觀(guān)察樣品的形貌和組成分布。
微細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)量
適合于多種測(cè)量功能。可在觀(guān)察圖像上直接進(jìn)行測(cè)量。也可將測(cè)量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。
標(biāo)準(zhǔn)的全對(duì)中樣品臺(tái)，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進(jìn)行平面測(cè)量和高度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀(guān)察到元素分析，配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器，一臺(tái)用于SEM圖像觀(guān)察和另一臺(tái)用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫(huà)面使操作更加簡(jiǎn)便與舒適。
維護(hù)簡(jiǎn)便
工廠(chǎng)預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可*保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說(shuō)明。
可信賴(lài)的真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。
掃描電子顯微鏡SEM-6510zui基本的功能是對(duì)各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀(guān)察。大景深圖像是掃描電鏡觀(guān)察的特色，應(yīng)用于生物學(xué)、植物學(xué)、地質(zhì)學(xué)、冶金學(xué)等領(lǐng)域。觀(guān)察可以是一個(gè)樣品的表面，也可以是一個(gè)切開(kāi)的面，或是一個(gè)斷面。冶金學(xué)家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶體的生長(zhǎng)或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過(guò)的木頭的細(xì)微結(jié)構(gòu)，生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲(chóng)。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。
在日本電子掃描電鏡應(yīng)用中，很多集中在器件和方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會(huì)帶來(lái)象的反差的變化。焊接開(kāi)裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀(guān)察到。利用束感生電流，可以觀(guān)測(cè)半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。
電子束與樣品作用區(qū)內(nèi)，還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)信號(hào)。例如：與樣品化學(xué)成分分布相關(guān)的，背散射電子，特征X射線(xiàn)，俄歇電子，陰極熒光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測(cè)；與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的，二次電子信號(hào)、電子束感生電流信號(hào)；在觀(guān)察薄樣品時(shí)產(chǎn)生的透射電子信號(hào)等。目前分別有商品化的探測(cè)器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用于探測(cè)和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。
日本電子SEM-6510對(duì)于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛，沒(méi)有任何一種儀器能夠和其相提并論。對(duì)于固體材料全面特征的描述，掃描電鏡是至關(guān)重要的。
| 保證分辨率 | 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV） |
| 放大倍數(shù) | 5至300,000x |
| 加速電壓 | 0.5kV至30kV |
| 電子槍 | 工廠(chǎng)預(yù)對(duì)中燈絲 |
| 聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
| 物鏡 | 錐形物鏡 |
| 樣品臺(tái) | 全對(duì)中樣品臺(tái) |
| X-Y | 80mm-40mm |
| Z | 5mm至48mm |
| 旋轉(zhuǎn) | 360° |
| 傾斜 | －10°至＋90° |
| 排氣系統(tǒng)
（高真空模式） | DPx1，RPx1 |
| 排氣系統(tǒng)
（低真空模式） | DPx1，RPx2 |
JSM-6510分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀(guān)測(cè)到元素分析的整個(gè)過(guò)程。
操作窗口
直觀(guān)的操作界面的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)明易懂便于迅速掌握操作。
：艾 Q 246639-6154
