采用的Ｘ射線集束毛細管透鏡，X射線只照射樣品的50μmφ微小領域，從而達到高靈敏度、高精度分析！

μEDX大幅度地提高了傳統的X射線熒光光譜儀無法完成的微小領域分析的靈敏度。配備新開發的X射線集束毛細管透鏡，實現了最小分析直徑達50μm的微區測定，適合半導體/電子部件/食品領域等高靈敏度、高分辨率分析。

• 采用島津的Ｘ射線聚光透鏡[集束毛細管透鏡]，X射線只照射樣品的50μmφ微小領域，實現高靈敏度、高精度分析。
• 可以在大氣中進行從輕元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。
• 配備雙CCD(高倍率,低倍率)攝像頭，可以在觀察樣品圖像的同時方便地決定分析位置，進行分析。
• 標準配備無標樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測定聚合物薄膜的背景基本參數（BG-FP）法。
• 作為微區Ｘ射線熒光光譜分析裝置，在世界上配備了5種1次Ｘ射線濾光片自動交換機構，可消除來自Ｘ射線管的特征Ｘ射線，提高信噪比。
• 配備多元素同時/自動掃描成圖功能。采用高速掃描成圖，在短時間內便可獲得圖像(μEDX-1200/1300)。追加透射觀察單元(選購)，也可進行透射Ｘ射線的同時測定。
• 配備電子冷卻式高計數率檢測器。無需液氮，可進行高精度分析。
  (μEDX-1400)
• 可輕松地進行電子材料/部件的鍍層膜厚測定、異物檢測、失效解析及成圖分析。