德國RaithPioneerTwo電子束光刻機：1.系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片，采用熱場發(fā)射電子槍，加速電壓為20V~30kV

德國 Raith Pioneer Two 電子束光刻機：

1.系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片，采用熱場發(fā)射電子槍，加速電壓為20V~30kV。可實現(xiàn)高分辨電子束曝光，最小驗收線寬≤8nm。
2.系統(tǒng)中集成了高精度的激光干涉工作臺，運動行程為50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度2nm，可以實現(xiàn)精確的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm。
3.系統(tǒng)兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中的熱場電鏡類似，放大倍數(shù)為20x ~1,000,000x。
4.另外，除了標準配置, 客戶還可以增加一些選配件，如選配背散射探測器、能譜儀等，進行材料分析；選配工作臺旋轉(zhuǎn)傾斜模塊，實現(xiàn)不同角度的材料成像等。如果選擇相應(yīng)的選配件，請增加相應(yīng)的價格。