產(chǎn)品名稱(chēng)： Agilent7700sICP
專(zhuān)為要求超痕量檢測(cè)的高純半導(dǎo)體材料行業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)
7700s為是為半導(dǎo)體行業(yè)高純材料分析而設(shè)計(jì)的超凈化系統(tǒng)，針對(duì)的是 ppt 級(jí)半導(dǎo)體行業(yè)超痕量元素。7700s額外配置有高效的樣品引入系統(tǒng)，五路ICP離子源氣路管線和兩路碰撞/反應(yīng)池氣體管線（ORS3）的反應(yīng)性氣體管路是7700s的標(biāo)準(zhǔn)配置）－為目標(biāo)元素和樣品類(lèi)型均十分確定的半導(dǎo)體行業(yè)樣品提供的干擾消除能力。
7700s保留和升級(jí)了的STS冷等離子體能力，為高純材料中極易電離的目標(biāo)元素的測(cè)定提供了行業(yè)中的性能，并且STS冷等離子體仍是業(yè)內(nèi)的，可以用同一條件同時(shí)分析半導(dǎo)體行業(yè)要求的多種目標(biāo)元素的技術(shù)。材料行業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
配置新的第三代ORS3碰撞反應(yīng)池系統(tǒng)，增強(qiáng)了氦模式的性能，消除干擾的能力比以前更好。
如去離子水、過(guò)氧化物，氫氟酸等材料中的Li、Na、K、Ca檢測(cè)提供行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)方法。
為所有常用的的半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)置了內(nèi)置式調(diào)諧和方法模板，包括碰撞反應(yīng)池模式以及冷等離子體模式，以確保獲得質(zhì)量的數(shù)據(jù)和的背景等效濃度（BECs）。
為所有常見(jiàn)的半導(dǎo)體樣品類(lèi)型提供標(biāo)準(zhǔn)的操作規(guī)程，簡(jiǎn)化方法建立的過(guò)程
較低的熱量輸出和降低排氣量，重新設(shè)計(jì)了冷卻空氣流路系統(tǒng)，這對(duì)超凈室安裝的儀器尤為重要。
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