工作溫度 360℃和 500℃、潔凈度 100 級(jí)、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠 PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在 100 級(jí)，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2 消耗量極低。

通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。

標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。

擁有門檢測(cè)開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置。