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帶3路浮子混氣RTP管式爐RTP-1000-LV3F

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產品簡介:3路浮子混氣RTP管式爐RTP-1000-LV3F是專為半導體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達3")的退火而設計,配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱,升溫速度可達 100/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

 

 

產品型號

3路浮子混氣RTP管式爐RTP-1000-LV3F

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1雙層Al2O3纖維鋼構,無需水冷或風冷。

2內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3PID制器,可以設置30段升降溫程序,并設有過熱保護和斷偶功能。

4通過CE認證。

技術參數

1電源:單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  9KW

2、石英管:外徑Ø110mm,內徑Ø103mm,長380mm

3、加熱元件:紅外燈管,直徑Ø10mm,長300mm

4、加熱區:300mm

5工作溫度:溫度1100

6控溫精度:±0.5

7、升溫速度:RT-800℃時為50/s800-1000℃時為10/s

8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動控制

9真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷,循環水流量為0.5m3/hr

10、真空度:10-3torr

11、流量計:3個,量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS

產品規格

尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統600mm×600mm×597mm重量:45kg

可選配件

防腐型數字式真空顯示計


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