DLP/光刻照明光源
昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應(yīng)用提供的速度和分辨率。模塊化設(shè)備結(jié)合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學(xué)設(shè)備，集成了遠(yuǎn)心成像光學(xué)優(yōu)化DLP芯片組。
這款DMD光刻光源為基于DLP技術(shù)的具有挑戰(zhàn)性的曝光應(yīng)用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強(qiáng)度和多波長光譜的設(shè)置非常適合。數(shù)值孔徑為0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均勻性、這些構(gòu)成DLP-芯片曝光的解決方案。
DLP/DMD照明器提供高達(dá)30W的光輻射功率。單波長和多波長設(shè)置可供選擇（365nm、385nm、395nm、405nm）。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當(dāng)、但具有LED技術(shù)的壽命和總成本優(yōu)勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管（例如、LD405nm）的照明器。
LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設(shè)計(jì)的、可以輕松集成到基于DMD的系統(tǒng)中。
DLP/DMD光刻照明光源產(chǎn)品亮點(diǎn)：
專為DLP®9000和DLP®9500設(shè)計(jì)
包括高性能LED驅(qū)動(dòng)器、便于控制和編程
高強(qiáng)度性能能夠縮短/減少處理時(shí)間
由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑
不會(huì)過時(shí)的無汞光源
DLP/DMD光刻照明光源產(chǎn)品規(guī)格：
| 輻射輸出功率 | |
| 波長配置 | |
| 光出口角 | |
| 照明均勻性和DMD芯片溢位 | |
| 熱管理 | 液體冷卻設(shè)置 快速連接、無泄漏耦合 所需入口溫度≤25℃ 25°
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| 使用壽命 | |
| LED-驅(qū)動(dòng)器 | |
| 外部接口 | USB 2.0 10/100Mbps以太網(wǎng) RS-232 (TIA-232-F)
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| 程序 | 串行（USB）和遠(yuǎn)程登錄（以太網(wǎng)）通信命令集 |
| 尺寸和重量 | |
| 重量 | 照明器：~1.5kg 驅(qū)動(dòng)器：~2kg
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